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　　電子特氣管道系統，簡稱特氣系統由存儲、輸送、分配、控制四類組成，其中“存儲”是指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管方面(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。是一種廣泛應用于半導體、集成電路、光纖、太陽能電池等微電子行業的氣路系統。

　　電子特氣管道系統氦檢漏方法種類：

　　特氣系統氣體管道氦檢漏的順序宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

　　1、內向檢漏法(噴氦法)采用管道內部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

　　2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

　　3、外向檢漏法(吸槍法)應采用管路內部充氦氣或氦氮混合氣，外部應采用吸槍檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。

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　　電子特氣管道系統氦檢漏檢測規定：

　　1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

　　2、特氣系統，內向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

　　3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

　　4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

　　電子特氣管道系統氦檢漏注意事項：

　　氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新經過氣密性試驗，合格后再按規定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，并進行吹掃。測試完畢后，應提交測試報告。